B11 · Шалаөткізгіш және электрондық газ
Шалаөткізгіш және электрондық арнайы газдарға арналған тот баспайтын болат пластиналар: таңдау жөніндегі нұсқаулық және 6 бөліктен тұратын тізім
Біздің шалаөткізгіш және электрондық арнайы газдарымызда біз тот баспайтын болатты пайдалана отырып 6 бөлікті ұйымдастырдық: жиі қолданылатын 316L / 304L, қалыңдығы 0,05–30 mm аралығында.
Алты орын және материалдар тізімі
| Орын / Бөлшек | Ұсынылатын марка | Сипаттамалар / Қалыңдық | Беткі қабат | Негізгі істен шығу режимдері | Анықтамалық стандарттар |
|---|---|---|---|---|---|
| UHP газ тасымалдау құбырлары | 316L VIM-VAR | 1/8″–2″ | Ra≤0,4μm электрлік жылтырату; Түйіршікаралық коррозия сынағы | Бөлшектердің ұсталуы → пластина ластануы; Cl⁻/F⁻ эрозиясы; дәнекерлеу термиялық әсер ету аймағының (HAZ) коррозиясы | SEMI F20 Grade 5; ASTM A269/A632; SEMI F19 |
| Арнайы газдар шкафына арналған клапан корпусы/манометрлер/диафрагмалық клапандар | 316L VIM-VAR соғылмалары | DN1/4″–1″; Cv 0,05–1,30 | Ra≤0,4μm электрополировка | Орындықтан құбыр қабырғасына дейінгі қашықтық > 1D болса, ұсталу өлі аймақтары пайда болады; коррозиялық арнайы газ эрозиясы | SEMI F20 4.6.2; ASTM A182 |
| Газ сүзгілері/қосылыстар/босс құрылғылары | 316L VIM-VAR | Интерфейс бойынша | Ra≤0,4μm электрополировка | Бөлшектер мен коррозия өнімдерінің бітелуі; қосылыстың ағуы | SEMI F20; ASTM A269 |
| CMP суспензиясы/ылғал химикаттарды тасымалдау құбырлары | 316L EP/PFA/PTFE қаптама | 1/4″–2″ | Ra≤0,4μm электрополировка | Абразивті ұнтақтау + күшті қышқыл/тотықтырғыш + бөлшектерді ұстап қалу | SEMI F20; SEMI F57; ASTM A269 |
| Пластина жуғыш/қысқыш/шашыратқыштар | 316L/PFA/кремний/текше кремний карбиді | 3-10mm ыдыс | Полировка/диффузия | Күшті коррозия + бөлшектермен ластану | SEMI F20; ASTM A240 |
| Вакуумдық камера/беткі пластина/бақылау терезесінің мойны | 304L/316LВакуумдық сынып | Кеме | 2B/Абразивті жылтырату/Қышқылмен жуу | Төмен вакуумдық деградация, дәнекерлеу ағымы | ASTM A240; SEMI F20; ISO 3669 |
Баға талаптарға сай емесСтандартты конфигурация.Бір бөлшек пайдалану шарттарына қарай 316L-ден 304L немесе 2205-ке ауыса алады, тек материалды емес, шарттарды көрсету арқылы уақытты үнемдейді.
Материалды таңдаудағы негізгі тұстар
- Ең жиі қолданылатын сыныптар — 316L (6) және 304L (1).
- Қышқылға төзімді 316L-ден бастап, 904L / немесе дуплекспен (2/6 соққы) жоғарылаңыз.
- Қалыңдық диапазоны: 0,05–30 мм: Жұқа пластиналар пішіндейтін бөлшектерге арналған (иілу серпінін және терең созу жарылуын ескеріңіз), қалың пластиналар дәнекерлеу құрылымдарына арналған (жылу берілуін және сенсибилизацияны ескеріңіз).
Жиі кездесетін мәселелер
Жартылай өткізгіштер мен электрондық арнайы газдар үшін қай тот баспайтын болат жиі қолданылады?
Барлығы 6 бөлшектің ішінде 316L ең жиі кездеседі (6 соққы), одан кейін 304L (1 соққы). Белгілі бір бөлшекке қатысты әлі де ортаға және температураға байланысты. Мысалы, екі тот баспайтын болаттан жасалған үстел үсті де, егер біреуі тұзды суға ұшыраса, әртүрлі сыныптарды қажет етеді.
Қандай аймақтар мәселеге бейім?
«UHP газ тасымалдау құбырлары» сияқты типтік мысалдарға сәйкес: бөлшектердің тұтылуы → пластина ластануы; Cl⁻/F⁻ арнайы коррозиясы; дәнекерлеу термиялық әсер ету аймағының (HAZ) коррозиясы. Ұсынылатын марка 316L VIM-VAR, спецификациялары 1/8″–2″. Бұл жағдайлар үшін жобалау кезеңінде ортаның концентрациясын, температурасын және тазалау әдістерін көрсету ұсынылады.
Қандай қалыңдықты таңдауым керек?
Тізімдегі қалыңдық диапазоны 0,05–30 мм. Жұқа пластиналар үшін иілу мен беткі өңдеуді ескеріңіз; қалың пластиналар үшін дәнекерлеу мен құрылымдық беріктікті ескеріңіз. Бірдей орын үшін мәндер жабдық өндірушісіне қарай өзгеруі мүмкін. Сызбаңызбен немесе жұмыс жағдайларыңызбен қайта тексеріңіз.
Қатысты материалдар және іргелес салалар
Applications6